该晶圆制作业厂最靠近华南东南部,主要种植8屏幕尺寸半导体设备晶圆,每日生活污水直接排缩量上涨约800吨。主要是因为种植环节中用到大规模氢氧化钠做好晶圆蚀刻,影响生活污池中氟化物溶液浓度高达hg200-300mg/L,远超国家直接的排放规范标准(10mg/L下例)。
废气含量及源于
化工废水大部分出自二个节点:
晶圆蚀刻制作工序
:含高氧浓度氟化物(HF)、氯化铵及多量血本属
电学设备抛光处理(CMP)污废水
:含奈米级硅粒状、有机的络合剂
机除垢化工废水
:含异丙醇、氟化物等有机肥料物
办理工艺方法方法
选择"化学式放置+混泥土放置+深层筛选"三阶段净化处理系统化:
第一净化处理
:添加氯化钙和氢腐蚀钙,组成氟化钙石雕文化沉淀,氟化物除掉率达85%
二次加工
:增加PAC(聚合物氯化铝)和PAM(高密度聚乙烯酰胺),除掉固体态影响物
两级加工处理
:凭借多导电介质油烟净化器器和灵活性炭包活性炭吸附,喷水氟化物酸度不稳定性在8mg/L下述
最为关键的设施具有:pH电脑自动调控模式、斜管沉积池、板框刮刀离心机(淤泥脱水处理)。
最中视觉效果
工作开机运行3年评估数据统计提示 :
氟化物平均的溶液浓度:7.2mg/L(高于国家规范)
COD祛除率:92%
淤泥含水分率:≤65%
年回报氟化钙副商品约150吨,满足网络污泥处置用