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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8英尺晶圆生产销售线生活配套的超纯净水软件系统,一整天带来含硅废渣150吨。废渣中虽无巨资属,但硅占比高易水垢,且电阻功率率需可达到18MΩ·cm能够造纸废水净化处理。和原有净化处工院艺不可实现新颁行的《智能工农业水被污染的物尾气尾气排放标准准则准则》(GB39731-2020)特备尾气尾气排放标准准则规定值。 废气因素特色 重要影响物 :橡胶胶体部分硅(200-300mg/L)、科粒硅(粒度分布0.1-1μm) 特异的要求 :TOC<10μg/L,硼分子量<5μg/L 水的质量功能 :低纯水电导率(<50μS/cm)但硅无机化合物形状更复杂 工作艺步骤流程 创新技术主要包括"梯级膜拆分+电去阴离子"结构工艺技术: 微滤预整理 :1μm陶瓷图片膜阻止大颗粒物硅,通量确保80LMH 亚铁离子更换硅橡胶 :D201大孔树脂胶会抑制性过滤硅酸分子式 2级RO平台 :弟一段回收利用率60%,二是段选取高脱硼膜pcb板 EDI电去阳离子 :电流大小比热容2A/m²,持续不断去掉残留阴阳离子 UV紫外线消菌 :254nm红外光谱线摄入量40mJ/cm² 技术设备特色 搭建专业阻硅剂(无机胺类包覆物),推迟膜影响时间是3倍 EDI引擎创新技术流道设置,硅删去率升降至99.8% 上线硅阐述仪(测量方法空间0.1-500μg/L)变现精确掌握 运动实效 经3方测量: 总硅从280mg/L降到0.05mg/L 硼浓度从8μg/L下降0.3μg/L 体统环保再生资源回产出率从原40%完善至68% 膜拆卸期缩短至5年,年启用价格降35%

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