某半导体集成电路芯片集成电路芯片制造技术厂在晶圆治理 的时候中，使用的硅烷使用硅本质生长发育，排放洗洁塔显现高溶度含硅废渣。废渣兼有pH跌涨大（2-11）、硅含氧量高的优点和缺点，传统型治理 技术易显现硅垢短路相关问题。 废水处理方法有效成分及特征 废液重点组分为： 溶解完性硅酸盐 ：SiO₂密度达1000-1500mg/L 盐酸/氢空气氧化钠 ：洗衣机清洗塔腐蚀性洗衣机清洗液存留 粉末硅 ：微米级SiO₂电解质溶液 痕量砷 ：主料杂物带往 进行处理加工制作工艺 方法 科学创新选择"多级采和+膜过滤水+减压蒸馏心得"加工过程： 五级与 ：用CaO调高pH至4-5，转化成硅酸钙水解，硅除掉率60%。 二级考试中合 ：加Na₂CO₃将pH的提升至9，进的一步沉淀物已用硅，电容串联用镁剂除砷。 反渗透膜体统 ：0.02μm卫浴陶瓷膜脱水奈米级硅粒子，通量稳定可靠在80LMH。 MVR减压蒸馏器 ：精浓高盐焦化废水，成果出Na₂SO₄副产物设备，水中水回用率超90%。 决定性成效 总硅从1500mg/L减少为5mg/L之下 砷含量从0.8mg/L减少为0.01mg/L 设计无水垢行驶已超2年 第年回收处理硫酸钠钠单晶体约800吨