上海市某光电器件清理芯片鑫霖环保厂,晶圆鑫霖环保阶段中带来含硅、氟的特色生产废污水,定制清理投资额1200吨/日。生产废污水营养成分繁杂,内含nm级硅粉末及氢佛酸,普通清理的方式不好及格。
化工废水成份及来源地
关键造成的污渍
:胶体溶液硅(100-500nm粒度分布)、氟阳离子(200-300mg/L)、异丙醇
渠道环节
:晶圆刻蚀工业废水处理方法(45%)、CMP化工机诫增加光泽工业废水处理方法(40%)、环保设备冲泡水(15%)
清理程序流程程序流程
自主创新选择"有机化学积累+特别膜分离法"方法路经:
钙盐石雕文化沉淀
:加药系统氯化钙清掉氟阴阳离子(提取CaF2沉淀物)
斜板沉淀池发应
:复合型水解酸化池剂做到胶体溶液硅脱稳
管式微滤
:0.1μm直径膜挤占微细顆粒
反渗入整体
:脱盐率>98%,利用率75%
挥发晶粒
:浓水段进行氟化物零废气排放
最中治疗效果
氟化物盐浓度:<8mg/L(低过政府二级准则10mg/L)
硅纯度:<5mg/L
水信息造纸废水处理率:70%使用保压塔皮肤补水
危险废弃物回收利用:蒸馏食物残渣量较传统式制作工艺增多60%